DSP-STC2258型多功能數字式四探針測試儀 DSP-STC2258

DSP-STC2258型多功能數字式四探針測試儀是運用四探針測量原理測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。DSP-STC2258型多功能數字式四探針測試儀符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》并參考美國 A.S.T.M 標準。


機械特性


DSP-STC2258型多功能數字式四探針測試儀

一、概述

     DSP-STC2258型多功能數字式四探針測試儀是運用四探針測量原理測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器設計符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》并參考美國 A.S.T.M 標準。 
      儀器成套組成:由主機、選配的四探針探頭、測試臺等部分組成。 
主機主要由精密恒流源、高分辨率ADC、嵌入式單片機系統組成。儀器所有參數設定、功能轉換全部采用數字化鍵盤輸入;具有零位、滿度自校功能;電壓電流全自動轉換量程;測試結果由數字表頭直接顯示。本測試儀特贈設測試結果分類功能,*大分類10類。 
      探頭選配:根據不同材料特性需要,探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭,以測試硅類半導體、金屬、導電塑料類等硬質材料的電阻率/方阻;也有球形鍍金銅合金探針探頭,可測柔性材料導電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導電膜(ITO膜)或納米涂層等半導體材料的電阻率/方阻。換上四端子測試夾具,還可對電阻器體電阻、金屬導體的低、中值電阻以及開關類接觸電阻進行測量。配專用探頭,也可測試電池極片等箔上涂層電阻率方阻。 
      測試臺選配:一般四探針法測試電阻率/方阻配SZT-A或SZT-B或SZT-C或SZT-F型測試臺。二探針法測試電阻率測試選SZT-K型測試臺,也可選配SZT-D型測試臺以測試半導體粉末電阻率,選配SZT-G型測試臺測試橡塑材料電阻率。詳見《四探針儀器、探頭和測試臺的特點與選型參考》 
      儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩定性好、智能化程度高、結構緊湊、使用簡便等特點。 
      儀器適用于半導體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對導體、半導體、類半導體材料的導電性能的測試。 
 
二、基本技術參數
1. 測量范圍、分辨率(括號內為可向下拓展1個數量級) 
    電    阻:10.0×10-6 ~ 200.0×10 Ω,    分辨率1.0×10-6 ~ 0.1×10 Ω 
               (1.0×10-6 ~ 20.00×10 Ω,    分辨率0.1×10-~ 0.01×103 Ω) 
    電 阻 率:10.0×10-6 ~ 200.0×103 Ω-cm   分辨率1.0×10-6 ~ 0.1×10 Ω-cm 
               (1.0×10-6 ~ 20.00×10Ω-cm  分辨率0.1×10-6 ~ 0.01×103 Ω-cm) 
    方塊電阻:50.0×10-6 ~ 1.0×106 Ω/□    分辨率5.0×10-6 ~ 0.5×10 Ω/□  
               (5.0×10-6 ~ 100.0×103 Ω/□  分辨率0.5×10-6 ~ 0.1×10 Ω/□) 
2. 材料尺寸(由選配測試臺和測試方式決定) 
    直    徑: SZT-A圓測試臺直接測試方式 Φ15~130mm,手持方式不限 
    SZT-B/C/F方測試臺直接測試方式180mm×180mm,手持方式不限. 
     長(高)度:  測試臺直接測試方式 H≤100mm,    手持方式不限. 
     測量方位:  軸向、徑向均可 
3. 量程劃分及誤差等級 
滿度顯示
200.0
20.00
2.000
200.0
20.00
2.000
200.0
20.00
2.000
常規量程
kΩ-cm/□
kΩ-cm/□
Ω-cm/□
mΩ-cm/□
---
*大拓展量程
---
kΩ-cm/□
Ω-cm/□
mΩ-cm/□
mΩ-cm/□
基本誤差
±2%FSB
±4LSB
±1.5%FSB
±4LSB
±0.5%FSB±2LSB
±0.5%FSB
±4LSB
±1.0%FSB
±4LSB
 
3.工作電源:220V±10%, f=50Hz±4%,PW≤5W 
4.外形尺寸: 245mm(長)×220 mm(寬)×95mm(高)  
   凈   重:≤1.5~2.0kg 




機械規格



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